| 氣體流量 |                         1-5 Nl/min |                     
                                            | 工作壓力 |                         1 MPa (10 barg), 高壓可選,zui高到 21 MPa (210 barg) |                     
                                            | 顆粒過濾 |                         0.3 微米,99.5% 去除率 |                     
                                            | 密封防護(hù) |                         IP66 (NEMA 4X) |                     
                                            | 工作溫度 |                         -40 ~ +60°C (或由傳感器指標(biāo)決定) |                     
                                            | 存儲環(huán)境 |                         -40 ~ +70°C, 0-95% RH,無凝露 |                     
                                            | 重量 |                         1.1kg (1.3kg 傳感器安裝后) |                     
                                            | 真空度 |                         標(biāo)準(zhǔn)的快速接頭不支持負(fù)壓測量 |                     
                                            | 材質(zhì) |                         套筒及保護(hù)帽: 316 不銹鋼                         流量控制模塊: 鋁質(zhì)                         接頭:鍍鎳黃銅s |                     
                                            | 氣體連接 |                         快速接頭,適用于 6mm 外徑塑料管 (推薦 PTFE 或 FEP) |                     
                                            | 樣氣管路 |                         提供 0.5m 排空管,以消除反向濕氣滲透影響 |                     
                                            | 傳感器安裝口 |                         5/8” UNF,支持所有 Michell 的阻抗式傳感器 |                     
                                            | 選件: |                     
                                            采樣管路 6mm 外徑厚壁 PTFE 采樣管,根據(jù)用戶要求提供長度                                                  過濾備件 十個(gè)一包裝的過濾器濾芯,0.3 微米, 99.95% 去除率                                                  高壓配置 6mm 外徑接頭 和高壓型流量閥,根據(jù)訂單提供                                                  流量計(jì) 顯示范圍為常壓下 1 ~ 5 l/min,安裝于系統(tǒng)的出口處                           |