| PSD-2 |         
                    | 型號(hào) |             一對(duì)干燥筒, 壓力切變 |         
                    | 干燥劑 |             4 A分子篩 |         
                    | 計(jì)時(shí)器 |             機(jī)械轉(zhuǎn)盤計(jì)時(shí) |         
                    | 壓力表 |             波爾登管式 |         
                    | 排氣口 |             燒結(jié)黃銅消音器 |         
                    | 氣體入口 |             10 Nl/min 在 70 ~ 100 psig; 無油無液態(tài)水 |         
                    | 氣體出口 |             7 Nl/min (zui高) 在小于 1 ppmV 時(shí) (= 低于 -75°C 露點(diǎn)); 出氣壓力 10 psig |         
                    | 電源 |             100/120 或 220/240 V AC, 50/60 Hz |         
                    | 工作溫度 |             +5 ~ +35°C |         
                    | 存儲(chǔ)溫度 |             -40 ~ +35°C |         
                    | 結(jié)構(gòu) |             鋁制外殼, 19” 機(jī)架安裝 6U x 350mm 深 |         
                    | 重量 |             大約 12.5kg |         
                    | PSD-4 |         
                    | 型號(hào) |             一對(duì)干燥筒, 壓力切變 |         
                    | 干燥劑 |             4 A分子篩 |         
                    | 計(jì)時(shí)器 |             機(jī)械轉(zhuǎn)盤計(jì)時(shí) |         
                    | 氣路端口 |             氣體入口-不銹鋼6mm Swagelok® 卡套             氣體出口-不銹鋼 ¼” Swagelok® 卡套 VCR 接口 |         
                    | 氣體入口 |             20 Nl/min 在 70 ~ 100 psig; 無油無液態(tài)水 (不高于 -40°C 露點(diǎn)) |         
                    | 氣體出口 |             10 Nl/min (zui大) 在低于 13 ppbV 時(shí) (-100°C 露點(diǎn)) |         
                    | 過濾 |             圓片過濾, 密封型, 0.003 µm等級(jí)的過濾效果優(yōu)于 99.999% |         
                    | 電源 |             220/240 V AC, 50/60 Hz |         
                    | 工作溫度 |             +10 ~ +40°C |         
                    | 存儲(chǔ)溫度 |             -40 ~ +50°C |         
                    | 結(jié)構(gòu) |             IP66 (NEMA 4) GRP 壁掛式機(jī)柜 (700 x 500 x 270mm); 所有氣路元件為 316 不銹鋼 |         
                    | 重量 |             大約27kg |